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当前热讯:奥普光电:子公司禹衡光学的光栅产品目前没有在光刻机中得到使用

发表于: 2023-03-28 13:11:31 来源:每日经济新闻


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每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:老师,请问贵司的光栅是不是可以用于光刻机的曝光系统?目前国产28nm光刻机,公司是否可以直接或间接为28nm光刻机提供零部件?

奥普光电(002338.SZ)3月28日在投资者互动平台表示,公司子公司禹衡光学的光栅产品目前没有在光刻机中得到使用。

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